2023年8月15日,由邳州市人民政府、势银(TrendBank)主办,邳州市经济开发区、徐州博康信息化学品有限公司、势银膜链承办,徐州博康信息化学品有限公司总冠名、苏州威迈芯材半导体有限公司专场冠名的“2023势银光刻胶产业大会(PRIC)”在江苏邳州天鸿金陵大酒店隆重举行,此次会议主题为“聚焦光刻胶供应链稳定”。
在本次大会上,浙江工业大学 博士、国家重大人才引进工程专家、俄罗斯工程院院士、中芯国际原副总裁 李伟先生发表了题为《如何掌握中国集成电路产业发展的主动权》的演讲。
演讲分为两个部分:
一、中国芯片产业的发展现状
李伟指出,整个中国产业的发展现状,首先就是集成电路是信息产业的基础和支撑,无论是的ChatGPT还是元宇宙亦或是Web3.0等,目前所指的芯片的重要性就是这些都是建设在集成电路芯片的上面,从软件到所有的以及经常提到的AI智能芯片等,都是建立在集成电路(IC)的基础上,这也是其重要的原因。
提到集成电路,摩尔定律便是逃不开的。摩尔定律并不是一个科学上也不是物理上的定律,摩尔(Gordon E.Moore)是英特尔公司的创始人之一,他在七八十年代归纳出一种现象,集成电路每过一年或者是一年半它的功能会增加一倍,其成本会降低一半,所以这个定理实际上是经验公式,并不是真正数学上和物理上的定理。
李伟指出,集成电路首先必须要高性能、高的集成度,目前每片芯片可以集成几十亿的单元,其次集成电路是高性价比的。目前我们所使用的消费电子产品诸如手机,电脑每年都在降价,其原因是集成电路越来越便宜。除此之外,集成电路的功耗越来越低,越来越能够更长时间的使用,这便是集成电路的4点:高性能、高性能、高集成和低功耗。
集成电路的电路设计(Design)方面非常重要,它的设计是以EDA来设计的,而EDA这方面也是我们的短板。虽然华大做EDA快三十年,但是距离真正解决问题还是差距比较大的。目前全世界三家最大的EDA公司是在美国,在电路设计方面,是被美国的三家公司垄断的局面。
在电路设计后,还需要制版和OPC,这就是怎样做光刻模板。只有在有了模板以后才能往下走,做集成电路的芯片。李伟表示,其中很多步骤也在一直改良,如OPC就是光学的纠正,当线路越做越小就会出现做光刻在做蚀刻时,无法准确蚀刻,这就出现了光学的纠正,即OPC的改正。再接下来是晶圆制造,FEOL+BEOL,就是前道和后道的工艺,这里面牵涉很多的设备和材料,材料上最被卡脖子的就是光刻胶。还有很多晶圆制造的设备,通常来说一家12寸的晶圆厂(25000片),需要超过将近1000台的设备、包括测试的一些设备。
这里面目前来讲,在设备这块包括测试设备这块,国产的程度大概只有10%多一点点,90%尤其是高档的半导体设备全部是靠进口的。目前被卡脖子的非常大的一个原因,就是因为国产太少了。
芯片做好,随后就是测试、封装、封装完再测试。等到整个芯片的封装是完美的,才能到市场进行应用。所以像现在的12英寸的像5nm、10nm,整个工艺将近有超过1000道工艺,而且良率要达到90%和95%以上,但是可想这一难度有多高,这就是为什么设备和材料是一个非常关键的。
整个制造环节,芯片的制造是集成电路产业链的重头戏:
(1)投资强度大,购买PVC机器500万美金,光刻机要1亿美
(2)工艺开发难度高,尤其是当一条生产线,当设备建设完,设备进场以后达到一个标准的生产线后,还要经过好几个TestChilp,就是测试芯片,真正的芯片在上面要测试,测试以后如果良率不高还要把良率提高,这又是半年到一年的过程。等到这个过程完了以后,几乎每一家公司都不愿意修改它用过的设备和材料,这便是光刻胶难打进晶圆制造厂的原因,它已经定下来了,已经花了一年的时间把整条生产跑通了,中间只要换一个设备和材料需要重新跑一遍,对于晶圆厂来说,其成本非常的大,而其中还有很多的不确定性的因素可能都会出现。如中芯国际这样的代工厂,想要更换里面的任何设备和材料都要征得客户的同意,其他厂商更不会轻易更换材料和设备。当然,如果生产线是新的,这就是一个能够打进去的好机会。
(3)设备、材料(光刻胶),设备90%靠进口,光刻胶尤其是DUV这块还是比较少的,国内可以生产的更少。
李伟说到,整个集成电路的技术与产业,是一个非常庞大且复杂的系统工程。做集成电路是“三高”(高投入、高风险、高回报)。看全世界的集成电路的发展我们很清楚,像韩国人一下子能够做那么大都是反向投资,因为半导体每大概5年就是一个Cycle,总是有几年好和几年不好,这个在过去几乎40年没有停过,都是几年一次。但是韩国人在不景气的时候敢大量投资,所以他现在占据全世界最大的存储芯片的市场,所以这又是他的一个策略,他敢这么做。
从物理的限制来看,1nm是最后一代的技术。而现在最先进的产品是2nm,目前国内中芯国际做得最先进的是14nm,但是最外宣称只做28nm以上。整个集成电路大概是超过4500亿美元的产业,将近3万亿。硅片基是产业的绝对主流,大于90%的芯片用硅做的。所以集成电路是信息和智能时代的基石,可以带动很多产业公司的发展。
李伟提到,目前高端芯片和存储器芯片基本依赖进口,尤其是CPU,总的来说落后国际4—5年甚至是更多。制造工艺是卡脖子工程,主要是设备、材料包括光刻胶以及设计软件EDA,这些已经威胁到国家的信息安全。但是有危机就有转机,现在全国各地都是从政府到地方到企业,都是大量发展集成电路,几年以后我们相信会大大改观。
集成电路有一个特点就是技术垄断和一家独大通吃,另外在不同领域的占比可以看到,就是存储芯片(DRAM)40%,模拟芯片15%,微处理器17%,逻辑芯片28%左右。根李伟也提到,像逻辑芯片就讲数字电路,通常来说如果是在好的学校和好导师的带领下,基本上硕士毕业到工作1—2年基本上可以掌握了,只要有EDA的工具。但是模拟芯片通常来说没有5年的工作经验是做不好的,所以模拟芯片是非常难做的。
而在其他的应用领域,如汽车领域,现在比较好的汽车电子上用到500多颗芯片,如果自动驾驶兴起,汽车用到的芯片1000—1500颗左右,是最大的市场。90年代PC最大,到了2020年代,最大的市场是手机,接下来再下来就是电动车这块。
从市场上来讲的话,在整个的应用市场中国占到非常大(32%),与美国的20%相比,中国占据非常大的市场。尤其是新的第三代半导体,中国所占市场超过50%以上,在供应上,中国大陆能够供应的是有5%—10%的芯片供应,其他的50%以上靠进口。
李伟提到,中国集成电路制造的企业,第一家当然是中芯国际,他在上海、天津、北京、深圳包括现在在绍兴叫中芯集成,前两天刚刚上市了。还有三星在西安,英特尔在大连,无锡的SK海力士,上海华虹、台积电,在南京和新疆,还有华润微等都是比较大的企业。但是可以看到在制造企业这块,国外的公司比较多,所占的比例也很高。
集成电路最有竞争的城市:第一上海、北京、无锡、深圳、武汉、合肥、成都、西安、南京、苏州这样排下来,所以江苏还是做得不错的。
二、如何掌握芯片产业发展的主动权
目前全面掌握主动权在短期内是不可能的,估计还需要很长的时间和大家的努力。
李伟提到了以下几点
1、挑战:国际技术和产品的封锁;国内企业相互竞争;缺乏长期发展的动力和规划;缺乏自主核心关键技术和关键的高端人才团队。
2、机会:国内巨大的市场需求,中国占全世界40%的市场;国际封锁和自主可控所带来的商机,尤其是光刻胶和很多材料、设备上。这还是技术驱动,与市场驱动的一个产业链。
3、掌握芯片产业主动权的有效策略:一个是瞄准核心领域,解决自主可控的问题;二是充分利用国内市场,可以开发专用芯片。李伟提到,第三代半导体、第四代半导体的发展,目前和国际上的差距没有那么大,这是好的突破点。利用在国内市场,找出差异化,然后以点带面。另外是ASIC,可以针对特定架构和应用领域进行专门设计。
NOR Flash存储器方面,兆易创新、普冉和东芯都做得不错,他们主要是在NOR和NAND一块。唯一被卡脖子的是我们做到150几层的FLASH,但是美国的设备提供新设备就不能超过28层,还有新的限制。所以我们要超越摩尔,超越摩尔在光电芯片这块,硅基光电的集成,这块很重要。
李伟指出,中国集成电路技术与国际水平有大概5年的差距,需要我们努力。制造设备、材料(光刻胶)是中国芯片产业最软肋的地方。掌握中国芯片产业主动权需要聚焦、聚力及产业化的发展。还要认识到发展中国的芯片产业需要长期的计划和努力,而不是一蹴而就的,就像上海的中微可以做成28nm的光刻机,但同时必须要有晶圆厂用测试机器三年左右,一起开发里面的硬件和软件,之后才能真正卖到行业去,现在做出来没有用,完成项目验收是没有用的。
最后,李伟提到,做好集成电路的芯片,需要有一个长期的发展计划,芯片产业是完全商业化的发展过程。良率,产能,与国际接轨,IGBT也好,道理都是一样的,真正的一步一步地来做,才能把中国的集成电路的芯片做好!